| 中文名 | 氘代硅烷 |
| 中文别名 | 氘代硅烷-D4, |
| 英文名 | SILANE-D4 |
| 英文别名 | SILANE-D4 [2H4]silane SILANE-D4 ISOTOPIC ENRICHMENT |
| CAS | 13537-07-0 |
| EINECS | 236-899-3 |
| 化学式 | D4Si |
| 分子量 | 36.14 |
| 密度 | 1.114g/mLat 25°C(lit.) |
| 熔点 | −185°C(lit.) |
| 沸点 | -112°C |
占地面积40余亩
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氘代硅烷在Gigabyte DRAM 生产中用作不含氢的硅源,其中通常包含在晶格中的氢对栅极的高速运行有害。晶格内较重的氘为热电子效应引起的损伤提供了质量屏障,从而延长了器件的寿命。氘硅烷还用于各种研究应用,以测定氢的热力学掺入率。