SILANE-D4

中文名氘代硅烷
中文别名氘代硅烷-D4,
英文名SILANE-D4
英文别名

SILANE-D4

[2H4]silane

SILANE-D4 ISOTOPIC ENRICHMENT

CAS13537-07-0
EINECS

236-899-3

化学式D4Si
分子量36.14
密度1.114g/mLat 25°C(lit.)
熔点−185°C(lit.)
沸点-112°C



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氘代硅烷在Gigabyte DRAM 生产中用作不含氢的硅源,其中通常包含在晶格中的氢对栅极的高速运行有害。晶格内较重的氘为热电子效应引起的损伤提供了质量屏障,从而延长了器件的寿命。氘硅烷还用于各种研究应用,以测定氢的热力学掺入率。


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